Serbuk logam silikon adalah bahan tepung yang diperoleh dari logam silikon dengan cara pengolahan. Kualitas bubuk logam silikon yang diperoleh dari berbagai proses produksi sangat bervariasi. Selain serbuk logam silikon, proses pembuatannya juga menghasilkan sejumlah produk lainnya. Metode yang paling tepat bergantung pada keadaan tertentu.
Pembuatan bubuk logam silikon relatif sederhana, dan prinsip di baliknya juga mudah dipahami. Setelah bubuk silikon kasar dalam jumlah yang cukup telah terdispersi, bubuk tersebut dimasukkan ke dalam busur plasma gas inert dan dipanaskan secara instan. Hasilnya, bubuk silikon kasar langsung menguap menjadi uap silikon pada suhu lebih tinggi, yang kemudian memasuki zona pendinginan dan mengembun menjadi silikon metalik berskala nano.