Membuat bubuk logam silikon cukup sederhana. Anda cukup menempatkan sejumlah bubuk silikon kasar ke dalam busur plasma gas inert dan memanaskannya hingga suhu tinggi, menyebabkan bubuk silikon berubah menjadi uap silikon. Uap ini kemudian didinginkan dan diubah menjadi bubuk logam silikon tingkat nano.
Metode Deposisi Uap Kimia: Silana dipecah menjadi silikon dan hidrogen ketika hidrogen berlimpah dan panas atau cahaya digunakan. Dengan cepat berubah menjadi gas, dari mana bubuk nanosilikon diperoleh.
Metode penggilingan bola: Bahan silikon yang lebih besar digiling menjadi bubuk berukuran nano dengan mesin menggunakan gesekan dan tumbukan antar partikel. Serbuk logam silikon yang dihasilkan melalui penggilingan bola memiliki kandungan pengotor yang tinggi, distribusi ukuran partikel tidak dapat dikontrol dengan baik, dan pemrosesan selanjutnya relatif rumit.